传感器技术呈现出去单一功能化特征,朝着智能化、集成化的方向发展。
随着物联网、智慧城市等应用市场的快速发展,对传感器产品在低功耗、可靠性、稳定性、低成本、小型化、微型化、复合型、标准化等技术和经济指标方面提出了更高的要求。结合上述需求,传感器企业也在积极展开技术研发,以满足市场需求。
“MEMS的优势在于批量化的制造技术,成本低、便于集成、功耗低;但与此同时,MEMS传感器也存在体积过小目前只能采用准三维技术加工,加工精度相对较低的问题。因此,进一步发展传感技术,满足市场需求时,应当注意采取措施扬长避短。比如针对传感器难以实现通用的标准工艺问题,已有企业在着手开发特定领域的工艺标准,如MUMPs等;针对传感器环境界面千差万别,器件含可动结构、封装难度大、成本高的问题,已有企业在开发圆片级封装技术。通过圆片级封装可有效降低后续封装与组装的难度,目前圆片级封装已获得广泛应用,很多Foundry均已推出WLP服务。此外,由于MEMS器件的密度低、工作频率较低、可容忍一定的串联电阻,对TSV的要求反而低于IC,因此目前TSV技术也已获得一定应用。”中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员、博士生导师杨恒介绍。
总结MEMS传感器的技术趋势,杨恒指出,相比于传统技术,传感器技术呈现出去单一功能化特征,朝着智能化、集成化方向发展。此外,数字化、网络化、低成本、标准化也成为传感器产品发展的总体趋势。
平台秤传感器的安装方式
(1)计量采用单个称重传感器以悬挂方式进行计量时,要求该传感器处于称体中心线上并垂直安装
(2)采用两个传感器时,两个承载点要求在同一水平面,两个传感器承载点联线要求与滚筒轴线平行
(3)当计量采用两个以上传感器时,除满足上述三条的相关要求外还要满足所有电子台称计量传感器称载点处于同一平面同时该平面于电子电子台称称体输料平面平行。拉绳传感器
(4)电子台称称重计量传感器量程和应大于电子台称输料较大流量下计量段物料重量的120%,同时使用多支传感器时个传感器量称应相同,性能指标一致。
(5)计量用传感器为径向承载型(如拉式、压式、柱式、轮辅式、桥式等)时,安装后和使用中应保证传感器纵向轴心和水平面秤垂直状态,同时仅承受计量电子台称垂直载荷。
(6)计量用传感器为剪切承载型(如悬臂梁式、箱式等)时,安装后和使用中应保证传感器承载面和水平面平行无倾斜现象,同时仅承受计量电子台称垂直载荷。
(7)在称重传感器安装时应采用高强螺栓,并安装牢固无蠕动。